Lab2000/1200/750

外形尺寸：1950mm×750mm×1900mm
工作尺寸：1200mm×750mm×900mm
水含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
氧含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
箱体泄漏率：≤0.001vol%/h，可以达到0.0008vol%/h

Lab2000/1500/750

外形尺寸：2250mm×750mm×1900mm
工作尺寸：1500mm×750mm×900mm
水含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
氧含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
箱体泄漏率：≤0.001vol%/h，可以达到0.0008vol%/h

Lab2000/1800/750

外形尺寸：2550mm×750mm×1900mm
工作尺寸：1800mm×750mm×900mm
水含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
氧含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
箱体泄漏率：≤0.001vol%/h，可以达到0.0008vol%/h

Lab2000/2400/750

外形尺寸：3150mm×750mm×1900mm
工作尺寸：2400mm×750mm×900mm
水含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
氧含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
箱体泄漏率：≤0.001vol%/h，可以达到0.0008vol%/h

Lab2000/1200/1000

外形尺寸：1950mm×1000mm×1900mm
工作尺寸：1200mm×1000mm×900mm
水含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
氧含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
箱体泄漏率：≤0.001vol%/h，可以达到0.0008vol%/h

Lab2000/1500/1000

外形尺寸：2250mm×1000mm×1900mm
工作尺寸：1500mm×1000mm×900mm
水含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
氧含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
箱体泄漏率：≤0.001vol%/h，可以达到0.0008vol%/h

Lab2000/1800/1000

外形尺寸：2550mm×1000mm×1900mm
工作尺寸：1800mm×1000mm×900mm
水含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
氧含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
箱体泄漏率：≤0.001vol%/h，可以达到0.0008vol%/h

Lab2000/2440/1000

外形尺寸：3150mm×1000mm×1900mm
工作尺寸：2400mm×1000mm×900mm
水含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
氧含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
箱体泄漏率：≤0.001vol%/h，可以达到0.0008vol%/h

Lab2000/3600/750

外形尺寸：4350mm×750mm×1900mm
工作尺寸：3600mm×750mm×900mm
水含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
氧含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
箱体泄漏率：≤0.001vol%/h，可以达到0.0008vol%/h

Lab2000/4880/750

外形尺寸：5550mm×750mm×1900mm
工作尺寸：4800mm×750mm×900mm
水含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
氧含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
箱体泄漏率：≤0.001vol%/h，可以达到0.0008vol%/h

Lab2000/3660/1000

外形尺寸：4350mm×1000mm×1900mm
工作尺寸：3600mm×1000mm×900mm
水含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
氧含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
箱体泄漏率：≤0.001vol%/h，可以达到0.0008vol%/h

Lab2000/4880/1000

外形尺寸：5550mm×1000mm×1900mm
工作尺寸：4800mm×1000mm×900mm
水含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
氧含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
箱体泄漏率：≤0.001vol%/h，可以达到0.0008vol%/h

Lab2000/6000/1000

外形尺寸：6750mm×1000mm×1900mm
工作尺寸：6000mm×1000mm×900mm
水含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
氧含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
箱体泄漏率：≤0.001vol%/h，可以达到0.0008vol%/h

Lab2000/7320/1000

外形尺寸：7950mm×1000mm×1900mm
工作尺寸：7200mm×1000mm×900mm
水含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
氧含量：＜0.1ppm，可以达到0.01ppm
箱体泄漏率：≤0.001vol%/h，可以达到0.0008vol%/h

外形尺寸：2000mm×760mm×1900mm
净化能力：0.6m³
水含量：<0.1ppm
氧含量：<0.1ppm
箱体泄漏率  ≤0.001vol%/h

SPS-1 溶剂纯化系统

外形尺寸：2000mm×750mm×1900mm
溶剂处理：同时净化7种溶剂
水含量：<10ppm
氧含量：<10ppm
箱体泄漏率  ≤0.001vol%/h

SPS-3 溶剂纯化系统

外形尺寸：2000mm×750mm×1900mm
溶剂处理：同时净化3种溶剂
水含量：<10ppm
氧含量：<10ppm
箱体泄漏率  ≤0.001vol%/h

SPS-5 溶剂纯化系统

外形尺寸：2000mm×750mm×1900mm
溶剂处理：同时净化5种溶剂
水含量：<10ppm
氧含量：<10ppm
箱体泄漏率  ≤0.001vol%/h

SPS-7 溶剂纯化系统

外形尺寸：2000mm×750mm×1900mm
溶剂处理：同时净化7种溶剂
水含量：<10ppm
氧含量：<10ppm
箱体泄漏率  ≤0.001vol%/h

PA36e

腔室尺寸 360×500mm(H)

极限真空 ≤3×10^-5Pa 保压12小时 压强≤5Pa

膜厚均匀性 ≥95% 重复性 ≥95%

基片尺寸 ≤100mm×100mm

有9个mask位置 每个基片对应3个位置

全自动控制软件

PA300e

腔室尺寸 ≤300mm(L)×300mm(W)×500mm(H)

极限真空 ≤3×10^-5Pa 保压12小时 压强≤5Pa

膜厚均匀性 ≥95% 重复性 ≥95%

基片尺寸 ≤100mm×100mm

有9个mask位置 每个基片对应3个位置

全自动控制软件

PA400e

腔室尺寸 ≤400mm(L)×400mm(W)×600mm(H)

极限真空 ≤3×10^-5Pa 保压12小时 压强≤5Pa

膜厚均匀性 ≥95% 重复性 ≥95%

基片尺寸 ≤135mm×135mm  

有19个mask位置 每个基片对应3个位置

PA500e

腔室尺寸 ≤500mm(L)×500mm(W)×600mm(H)

极限真空 ≤3×10^-5Pa 保压12小时 压强≤5Pa

膜厚均匀性 ≥95% 重复性 ≥95% 速率稳定性≥95%

基片尺寸 ≤156mm×156mm ≤30×30mm 数量4片

有12个mask位置 每个基片对应3个位置

PA600e

腔室尺寸 ≤600mm(L)×600mm(W)×660mm(H)

极限真空 ≤3×10^-5Pa 保压12小时 压强≤5Pa

膜厚均匀性 ≥95% 重复性 ≥95% 速率稳定性≥95%

基片尺寸 ≤210mm×210mm

蒸发源 4-12任意组合蒸发源

全自动控制软件

PA700e

腔室尺寸 ≤700mm(L)×700mm(W)×800mm(H)

极限真空 ≤3×10^-5Pa 保压12小时 压强≤5Pa

膜厚均匀性 ≥95% 重复性 ≥95% 速率稳定性≥95%

基片尺寸 ≤2300mm×300mm

蒸发源 4-12任意组合蒸发源

全自动控制软件

高通量电解液合成配接平台

高通量有机反应筛选平台

开关盖/5mL移液/1mL移液/2.5mL控温搅拌反应/过滤