PA700e研发型镀膜机_手套箱研发型蒸镀设备_真空手套箱-手套箱厂家-伊特克斯惰性气体系统(北京)有限公司

PA700e

钙钛矿研究 / OLED研究 / 固态电池研究 / 可集成手套箱

PA700e研发型镀膜机

腔室尺寸 ≤700mm(L)×700mm(W)×800mm(H)
极限真空 ≤3×10^-5Pa 保压12小时压强≤5Pa
膜厚均匀性 ≥95% 重复性 ≥95% 速率稳定性≥95%
基片尺寸 ≤2300mm×300mm
蒸发源 4-12任意组合蒸发源
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