PA600e研发型镀膜机_手套箱研发型蒸镀设备_真空手套箱-手套箱厂家-伊特克斯惰性气体系统(北京)有限公司

PA600e

PA600e研发型镀膜机

腔室尺寸 ≤600mm(L)×600mm(W)×660mm(H)
极限真空 ≤3×10^-5Pa 保压12小时压强≤5Pa
膜厚均匀性 ≥95% 重复性 ≥95% 速率稳定性≥95%
基片尺寸 ≤210mm×210mm
蒸发源 4-12任意组合蒸发源
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