PA500e研发型镀膜机_手套箱研发型蒸镀设备_真空手套箱-手套箱厂家-伊特克斯惰性气体系统(北京)有限公司

PA500e

钙钛矿研究 / OLED研究 / 固态电池研究 / 可集成手套箱

PA500e研发型镀膜机

腔室尺寸 ≤500mm(L)×500mm(W)×600mm(H)
极限真空 ≤3×10^-5Pa 保压12小时压强≤5Pa
膜厚均匀性 ≥95% 重复性 ≥95% 速率稳定性≥95%
基片尺寸 ≤156mm×156mm ≤30×30mm 数量4片
有12个mask位置每个基片对应3个位置

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