PA400e研发型镀膜机_手套箱研发型蒸镀设备_真空手套箱-手套箱厂家-伊特克斯惰性气体系统(北京)有限公司

PA400e

钙钛矿材料、二维材料、光伏太阳能电池及OLED器件制备等

PA400e研发型镀膜机

腔室尺寸 ≤400mm(L)×400mm(W)×600mm(H)
极限真空 ≤3×10^-5Pa 保压12小时压强≤5Pa
膜厚均匀性 ≥95% 重复性 ≥95%
基片尺寸 ≤135mm×135mm
有19个mask位置每个基片对应3个位置

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