1. 请查看真空泵泵体上的按钮开关是否打开，“0  OFF” “1  ON”；

2. 查看真空泵的断路器是否跳闸。

1. 在从工作气气源到设备的管路有泄漏，气源处钢瓶口漏气、阀块上进气管接口漏气；

2. 高真空挡板阀气体泄漏；

3. 高真空挡板阀的压力管出现漏气，依次检查；

1. 过渡舱舱门未关严；

2. 脚踏是否被东西压住；

3. 电磁阀块上<净化柱抽气阀>是否被杂质卡住；

4. 电磁阀块上<箱体抽气阀>是否被杂质卡住。

1. 设备本身密封出现问题，保压检漏；

2. 过渡舱舱门未关严；

3. 脚踏是否被东西压住；

4. 净化系统管路电磁阀被杂质卡住。