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产品特点
泄露率＜0.001vol%/h
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全自动再生活化过程
进口分子筛和铜触媒
封闭式气体循环
电磁阀模块化设计
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产品应用
半导体工业中MOCVD技术、微电子半导体、OLED/PLED开发与生产、锂离子电池开发与生产、纳米材料研究、催化剂研究、钙钛矿太阳能电池的研发。
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