原子能沉积

ALD

将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法

原子能沉积

手套箱 气体纯化 溶剂纯化 镀膜机 隔离器 核 附件 手套箱自动化

PA200d

单腔型原子能沉积(ALD)

外形尺寸：1000mm×700mm×1000mm
腔室尺寸：Φ300mm×150mm
衬底规格：4-12寸单片
温度： RT-400 oC

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