工作电压: 三相380VAC 50Hz (需60A空气开关）

最大输入功率: 25KW

震荡频率: 30 - 80 kHz

循环比: 80%

感应线圈: 150mm(OD) x 140mm(ID) x 90mm(H)

保护系统：带有自动水压、过热、功率过高保护

耐火材料：配有多块采用氧化铝制作的耐火材料，用于支撑石墨坩埚，和防止热量辐射

工作电压: 208~240V AC, 单相；

采用PID方式控温 ，可设置30段升降温程序；

设备带有过热和断偶保护功能；

控温精度：+/- 3 ºC；

采用C型热电偶,探头伸入到石墨坩埚内；

长期使用温度：1900ºC；

最高工作温度：2000ºC（

最大升温速率：

10ºC/second (1000ºC-1200ºC)

8ºC/second (1200ºC~1500ºC)

3ºC~6ºC/second (1500ºC~2000ºC)

高纯石墨坩埚: 50mm(OD)×40mm(ID)×110mm ,坩埚是用来感应加热和熔化金属；

最大容量：样品所占容积应该是石墨坩埚容积的1/2；

可选:为对晶片热处理，可定制石墨样品台，最大可放置晶片尺寸为1.5'' O.D x 1/8'' T，因为石墨导热率非常高，所以可使放置的晶片受热均匀；

保温层：石墨坩埚外环绕三层隔热材料，从里到外分别为石墨毡—氧化铝—高温毡，总厚度为32mm，石墨保温毯（可耐温2200℃）氧化铝毯（耐温1700℃）。

顶部法兰: 采用不锈钢折叠式法兰，带有一1/4＂的铠装接口（可插入热电偶到石英管内部更准确地测量样品温度）法兰上安装有不锈钢截止阀；

底部法兰:底部法兰接口为KF25接口，可通过波纹管与真空泵相连接；

石英管尺寸：130mm(OD) x 122mm(ID) x 360mm(L)；

仪器中配有KF25挡板阀和KF25*1000mm的波纹管，以便与真空泵相连接；

当气压在10mbar以上时，不需因测量气体种类不同而进行系数转换，量程可到3.8x10E-5 torr

温度范围: 5 - 30°C

水流速： 16L/min

水箱容积: 12 Liters 采用不锈钢制作

水压≥0.1MPa，流量≥5L/Min

注: 本公司建议使用专用的冷却液作为冷却介质

仪器中配有一2L/S的双极旋片机械泵，使管内的真空度达到10e-2 torr

工作电压AC 208 -240V, 单相

结构: 钢框架结构

8800mm×600mm的移动炉架可方便移动电感应加热器和带有法兰的石英管

感应加热器:520mm x 520mm x 450mm

水冷机组: 460mm x 475mm x 762mm

移动炉架： 600mm(L) x 800mm(W) x 597mm(H)

整机保修一年,相关耗材除外.(如炉管、密封圈、加热丝.)

CE 认证

所有电器元件（>24V）都通过 UL / MET / CSA 认证

若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国 TUV 认证或 CAS 认证

①炉管内气压不可高于 0.02MPa；

②由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为 0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全；

③当炉体温度高于 1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态；

④进入炉管的气体流量需小于 200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击；

⑤石英管的长时间使用温度＜1100℃；

⑥对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于 0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）。

使用此仪器时，熔炼必须在≤0.02Mpa 的流动氩气下进行，流量小于200ml/m，需始终保持石英管内的气压