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OTF-1200X-4-RTP-小型1000℃RTP炉
产品简介：
OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速热处理管式炉，配有4" 石英管和真空法兰， 它是专为半导体或太阳能电池基片（最大达3“）的退火而设计，采用10KW红外灯管加热最快升温速度为 50°C/秒. 30 段温度控制，精度为 +/-1°C. 计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线 。
| 技术参数 | ||
|---|---|---|
| 炉体结构 | 双层莫来石钢构（不带水冷或风冷） 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命 | |
| 加热元件 | 8 根红外灯管 ( D=10 L=300 T =200, mm） | |
| 加热区 | 12" length with 4"X12”恒温区（ +/-5ºC ） | |
石英管和样品架 | 石英管尺寸: 4.33" O.D x 4.05" I.D x 15" Length； 3" 的样品架固定在滑动法兰上，石英材料； 一片3" AlN 片放在样品架上用来放置需要退火的样品； AlN 具有很高的热导率，所以在样品放置的区域有很好的温度均匀性+\- 5°C； | |
| 真空法兰 | 带KF-D25 高真空法兰由不锈钢制作，两个高温“O”型圈密封 滑动法兰使装载样品很容易. 3" 样品架和内插式热偶保证了温度的准确 | |
水冷 | 如果要求通冷却水 ● 请确定冷却水流速 ≥ 3L/min, 水温 25 PSI ● 我们建议采用 循环水制冷器作为冷却系统（为了节约用水） ● 警告: 这款 RTP 炉在1000ºC ~ 1100ºC下保温时间不超过 600 秒，否则“ O”圈将被烧融 | |
| 流量计 | 范围： 16 - 160 ml/min | |
| 真空表 | 标配：数字真空表，测量范围：10mtorr~800 torr 。注意：此表是在氮气下校准的，只有在氮气和空气下表上显示的是实际压力，当通入任何其他气体时，必须参考说明书中的相对气体对照表，否则后果会很严重。 可选：本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。 | |
| 真空度 | 用机械泵真空度达 50 mtorr 用分子泵真空度可达 10-4 torr | |
| 温控系统 | PID 自动控制， 可控硅 SCR | |
| 热偶 | 进口K 型热偶, 紧贴在放样品的AlN片下 | |
| 最快升温速度 | 室温~800℃： 50 oC/sec ，800℃~1000℃： 10oC/sec | |
| 最新升温曲线 | 直接升温到1000℃； | |
| 最快降温速度 | 60ºC/min (在 200 mtorr下), 117ºC/min (在一个大气压下) 选择: 为得到较快的降温速度 | |
| 温度 | 最高1100ºC ，额定1000°C | |
| 电源 | 此炉可以增加镀SiC的石墨坩埚改造成RTE(快速热蒸发）炉 | |
| 注意 | 208-240 AC, 50/60 Hz 单相, 最大功率9KW (> 60A 保险) | |
| 尺寸 | 760 X 330 X 530 mm (30"W x 13"L x 21" H) | |
| 重量 | 45 kg (100 lbs) | |
| 保修期 | 电器部分一年质保期 (耗材：如炉管，“O”型圈和加热灯管等不在保修范围内） | |
| 认证 | CE 认证 所有电器元件（>24V）都通过 UL / MET / CSA 认证 若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国 TUV 认证或 CAS 认证 | |
| 注意事项 | ①炉管内气压不可高于 0.02MPa ②由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为 0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 ③当炉体温度高于 1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 ④进入炉管的气体流量需小于 200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 ⑤石英管的长时间使用温度＜1100℃ | |
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