手套箱真空镀膜系统

  该设备由真空蒸发镀膜室和手套箱组成,镀膜系统连接在手套箱的旁面,系统容易地被使用为有机材料蒸发和金属蒸发或金属化根据您的研究应用。

  在高真空条件下将钙、银和金镀敷到芯片或薄膜材料上。将手套箱与薄膜沉积室结合起来用于研究和生产太阳电池、液晶显示和薄膜电池。

  手套箱真空涂层系统不能容易地适应为各种各样的前沿研究领域包括但对OLED 有机发光二极管, Si PV 无定形的硅photovoltaics, TFT-LCD 被限制薄膜晶体管液晶显示, LTPS 低温多硅, CG 硅连续的五谷硅和其它流动显示装置技术研究。

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