OTF-1200X-S-FB-颗粒悬浮立式管式炉

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OTF-1200X-S-FB-颗粒悬浮立式管式炉

产品简介:

OTF-1200X-S-FB是一款流化床立式管式炉,专门针对粉末表面沉积的CVD实验,炉管为高纯石英管,炉管内部嵌有一多孔石英板,石英板的孔径为5-15um.粉末可放在多孔石英板上,气体可从炉管下端通入,通过多孔石英板使样品颗粒悬浮在加热区域,进行沉积实验。


技术参数
壳体结构

反应气体和均匀地通过反应区

固体颗粒被通入的气体悬浮在加热区内

炉体设计为开启式,当实验结束后,可将炉体打开,拿出石英管,取出反应后的颗粒。

注意:在通入气体悬浮起样品颗粒时,也许会因为气体流量过大会使颗粒穿过加热区,所以实验时要根据颗粒的大小尺寸来调节气体流量

多孔石英板

孔径:5~15 um

尺寸:44mm I.D x 4mm t

炉体结构

双层壳体结构并带有风冷系统

炉体设计为开启式,以方便放样和取样

采用高纯氧化铝纤维作为炉膛材料,并且表面涂有美国进口1760度高温氧化铝涂层,可延长仪器使用寿命和提高加热效率

最大功率

1.2KW

输入电源

AC220V 单相, 50/60 Hz

最高工作温度

1200°C

连续工作温度

1100°C

最大升温速率

炉管尺寸和材料

采用高纯石英炉管

炉管尺寸:50mm; ID: 44mm; L: 610mm

加热区

200mm(单温区)

恒温区

100mm(+/-2oC) 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系

温控系统

可设置30段升温,保温和降温程序。

采用PID方式来调节温度,并带有过热和断偶保护

控温精度:+/- 1 ºC

加热元件

掺钼铁铬铝合金

密封法兰

仪器中配有一对不锈钢密封法兰,上面安装有不锈钢截止阀和机械压力表

外形尺寸340mm×300mm×1000mm ( W x L x H)
质量认证

CE 认证

所有电器元件(>24V)都通过 UL / MET / CSA 认证

若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国 TUV 认证或 CAS 认证

应用注意事项

● 炉管内气压不可高于0.02MPa;

● 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全;

● 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态;

● 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击;

● 石英管的长时间使用温度<1100℃;

● 由对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)。



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