采用PID30段程序化控温，其控温精度为+/-1℃；

设有过热和断偶保护；

热电偶采用K型热电偶；

采用KF结构密封法兰，硅胶密封圈密封；

法兰上安装有一机械压力表；

右端法兰与一个真空不锈钢波纹管连接（不锈钢波纹管最大伸缩幅度为150mm)；

真空度：10^-2Torr(用机械泵抽）10^-5Torr(用分子泵抽）；

一个直径为1/4＂的欧米伽铠装热电偶（K型），通过法兰伸入到炉管中，并可随坩埚移动，可实时监测样品的实际温度；

通过步进电机移动炉管内的坩埚（样品台），最大行程为100mm，移动精度为1mm；

通过触摸屏设定坩埚一定的距离和目标位置，坩埚移动速度为180mm/min(更精确的移动速度，可与本公司联系定制，需额外收费）。

可通过移动样品到已预加热的炉体中来得到最大的加热速率，也可将样品迅速移除高温的炉体，来得到最大的降温速率

10℃/sec (150℃ - 250℃);

7℃/sec (250℃ - 350℃);

4℃/sec (350℃ - 500℃);

3℃/sec (500℃ - 550℃);

2℃/sec (550℃ - 650℃);

1℃/sec (650℃ - 800℃);

0.5℃/sec (800℃ - 1000℃);

10℃/sec (950℃ - 900℃);

7℃/sec (900℃ - 850℃);

4℃/sec (850℃ - 750℃);

2℃/sec (750℃ - 600℃);

1.5℃/sec (600℃ - 500℃);

1℃/sec (500℃ - 400℃);

0.5℃/sec (400℃ - 300℃);

可选购手动挡板阀；

防腐型数显真空计；

快速连接法兰，以方便于放置样品；

多路质量流量计控制的混气系统，用于CVD和DVD实验。

整机保修一年,相关耗材除外.(如炉管、密封圈、加热丝.)

CE 认证

所有电器元件（>24V）都通过 UL / MET / CSA 认证

若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国 TUV 认证或 CAS 认证

炉管内气压不可高于0.02MPa；

由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全；

当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态；

进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击；

石英管的长时间使用温度＜1100℃；

对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）。

此款设备可用于多种实验，以下列出了几种实验方法；

RTE（快速热蒸发）：蒸发料放在坩埚中，放入到炉体中心，基片放在样品台上，样品台与热电偶相连接，然后将样品台移动到理想的位置（此位置温度是实验所需要的温度）；

HPCVD（混合物理化学沉积）：与RTE相似，但需配混气系统，对反应气体混合并控制流量，同时也需设定蒸发料的位置（确定蒸发料的蒸发温度）；

水平布里奇曼（Bridgman）法来长晶体：将样品和籽晶放入到坩埚中，并将坩埚放入到炉体中心位置，然后设定坩埚移动速度，慢慢移动坩埚。